OPTM显微分光膜厚仪

● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内

● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）

● 单点对焦加量测在1秒内完成

● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）

● 独立测试头对应各种inline定制化需求

 ● 最小对应spot约3μm

 ● 独家专利可针对超薄膜解析nk

测量项目：

●绝对反射率分析

●多层膜解析（50层）

●光学常数（n：折射率、k：消光系数） 

膜或者玻璃等透明基板样品，受基板内部反射的影响，无法正确测量。OPTM系列使用物镜，可以物理去除内部反射，即使是透明基板也可以实现高精度测量。此外，对具有光学异向性的膜或SiC等样品，也可完全不受其影响，单独测量上面的膜。

（专利编号    第 5172203 号）